«Активная Фотоника» - партнёр Российского форума «Микроэлектроника - 2026»

Оборудование для исследований и промышленного контроля

На стендах № 90 и 103 «Активная Фотоника» представила оборудование для микроскопии, спектроскопии, оптической инспекции и высокоточных измерений. Посетители форума смогли познакомиться с установкой измерения стресса uFLEX 300, рамановским спектрометром LS RamBo 620 (ППРФ 719 ППРФ 878), профилометром uSTEP 300 с новой АСМ-головкой, системой оптической инспекции uVISION 300 и другими разработками компании.

Представленные решения предназначены для исследования материалов и микроэлектронных структур, анализа их характеристик и контроля качества на различных этапах разработки и производства.

Метрологический суверенитет российской микроэлектроники

В рамках деловой программы форума коммерческий директор «Активной Фотоники» Дмитрий Дроботов выступил с докладом «Метрологический суверенитет микроэлектроники: от лабораторных СЗМ к промышленному контролю на пластинах до 300 мм».

В выступлении были затронуты вопросы развития отечественных средств измерений, расширения возможностей сканирующей зондовой микроскопии и перехода от лабораторных исследований к решениям, применимым в промышленном контроле полупроводниковых пластин.

Развитие собственной измерительной инфраструктуры - важное условие технологической независимости отрасли. Отечественные приборы и автоматизированные измерительные комплексы позволяют формировать технологическую базу для исследований, разработки и контроля качества микроэлектронных изделий.

Сотрудничество с компанией «ПЛАНАР»

Одним из значимых результатов форума стало развитие научно-технического сотрудничества «Активной Фотоники» и компании «ПЛАНАР». Совместная работа направлена на создание автоматизированного аппаратно-программного комплекса для измерения электрических параметров полупроводниковых устройств непосредственно на пластине.

В основу комплекса планируется заложить зондовую станцию uPROBE 200 разработки «Активной Фотоники» и измерительное оборудование «ПЛАНАР». Объединение компетенций двух российских компаний позволит интегрировать возможности зондового позиционирования и электрических измерений в единое решение для задач микроэлектронного производства.

Разработка подобных комплексов расширяет возможности отечественных предприятий и научных организаций в области исследования полупроводниковых структур и контроля их электрических характеристик.

Развитие отечественных технологий

Участие в Российском форуме «Микроэлектроника - 2026» стало для «Активной Фотоники» возможностью представить собственные разработки профессиональному сообществу, обсудить актуальные задачи отрасли и укрепить деловые связи с потенциальными партнёрами.

Компания продолжает развивать отечественное оборудование для высокоточных измерений, исследований материалов и контроля микроэлектронных структур, внося вклад в формирование технологической базы российской микроэлектроники.