Универсальный профилометр
uSTEP 300

Большой набор методов неразрушающего контроля на единой платформе.

Варианты профилометра uSTEP 300:

Профилометр для измерения шероховатости поверхности

Активное развитие отечественной микроэлектроники не может проходить без соответствующего совершенствования диагностических средств. В частности, разработка монолитных интегральных полупроводниковых пластин требует достоверного измерения геометрических, механических, химических и электрофизических параметров на протяжении всех этапов производства.

Своевременное тестирование, обнаружение и устранение дефектов – необходимая составляющая для повышения выхода годной продукции, а также сокращения времени изготовления. При этом совмещение различных диагностических методов в рамках одного прибора приводит к оптимизации всего процесса производства.

Именно поэтому прибор профилометр uSTEP 300 сочетает в себе методы контактного и неразрушающего контроля для возможности всесторонней оценки полупроводниковой продукции.

Профилометр позволяет проводить диагностику пластин различного диаметра вплоть до 300 мм включительно. Система позиционирования пьезосканера работает с точностью до 25 нм в латеральной плоскости образца.

Технические характеристики

XY-позиционер для перемещения образца	Разрешение датчиков позиционирования	25 нм
	Скорость позиционирования	4 мм/с
Столик для крепления образца с системой вакуумного удержания	Размеры образца	ø25–300 мм, ø1–12’’
Пьезосканер с моторизированным подводом сканирующей головки к образцу	Поле сканирования	100×100×10 мкм
Оптическая система регистрации колебаний кантилевера	Длина волны излучения лазера	650 нм / 830 нм
	Фотодетектор	Четырехсекционный
Оптическая сканирующая головка	Объективы	10х, 50х
Возможность добавления модуля лазерной спектроскопии	Источник возбуждающего излучения с λ = 405/532/633/785 нм Монохроматор с фокусным расстоянием 600 мм, спектральное разрешение ≤ 1 см-1 ПЗС камера.
Пассивная виброизоляция	Материал	Габбро-диабаз
	Полоса частот	> 200 Гц
Активная* виброизоляция	Полоса частот	1 – 200 Гц
	Эффективность подавления вибраций	– 40 дБ при частоте 70 Гц
Термостабилизация	Активная стабилизация температуры	ПИД-регуляция
	Стабильность температуры при изменении окружающей температуры на 1°С	< 0.05 °С

Преимущества и особенности uSTEP 300

Высокий уровень автоматизации значительно упрощает требования к оператору системы и сокращает время проведения измерений.

Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм или массивы образцов, поперечные сколы пластин за одну загрузку образца.

Точность позиционирования образца в латеральной плоскости 25 нм.

Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа.

Более 40 методик измерений и высокая помехозащищённость.

Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 1 Å.

Монолитная конструкция основания снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ.

Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и освещением образца.

Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле.